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CLASS®蓝宝石片材
CLASS225 ®和CLASS300 ®蓝宝石片材是世界上尺寸最大的蓝宝石片材。
CLASS®蓝宝石片材尺寸范围最大可达9英寸宽x 26英寸长（228 X660毫米）和12英寸宽×20英寸长（304 X508毫米）。有关更大尺寸产品的供货问题，请联系我们。
CLASS®蓝宝石片材采用EFG™技术制造，该工艺通过将单晶蓝宝石生长到近净形状减少生长后的加工过程。
蓝宝石是一种高强度、耐用耐刮擦的透明材料，可批量生产用于包括前视红外（FLIR）和激光测距系统在内的大尺寸航天光学窗口。此外， CLASS®蓝宝石在同等弹道性能条件下相比仅采用玻璃的传统系统重量减轻50％以及厚度减少50％。
用途/应用
半导体工艺
（HPD CVD、ECVD、干法刻蚀、湿法刻蚀）
- 观察孔和观察窗
- 末端执行器
- 气体扩散板
- 对焦环
- 淋浴头
- E-Chucks
传感器窗
- 前视红外线（FLIR）窗
- 电光（EO） 窗
- 激光指示器/测距仪窗
- 用于光谱分析的红外窗
- 工业工艺用光学传感器
- 邮件分拣光学扫描仪窗
- 热/烟检测窗
特点与优势
- 可能是最高纯度的无晶界单(Al2O3) 晶体
- 几乎不存在颗粒物污染
- 高熔点, 2053oC
- 莫氏硬度仅次于金刚石：极其耐刮擦
- 化学惰性（在大多数工艺环境中不发生化学反应）
- 卓越的刚性 （435 Gpa, 刚度为石英的6倍）
- 透明- 可透射紫外线- 可见光 - 红外波长
- 可透射射线
- 可制造成复杂形状
| 厚度x宽度 | 厚度范围 |
|---|---|
| 9" x 26" (228.6mm x 660.4mm) | .100" - .300" (2.54mm x 7.62mm) |
| 12" x 20" (304.8mm x 508mm) | .100" - .300" (2.54mm x 7.62mm) |
| 6" x 6" (152.4mm x152.4mm) | .025" - .300" (0.635mm x 7.62mm) |
物理/机械
| 属性 | 值 |
|---|---|
| 密度 | 3.97 gm/cm3 (0.143 lb/in3) (25°C) |
| 杨氏模量 | 435 GPa (63 x 106 psi) 平行于C轴(25°C) 386 GPa (56 x 106 psi)平行于C轴(1000°C) |
| 刚性模量（剪切模量） | 175 GPa （26 x 106 psi） |
| 抗弯强度 | 1035 MPa (150 kpsi) 平行于C轴(25°) 760 MPa (110 kpsi) 垂直于C轴 (25°) |
| 抗压强度 | ≈2 GPa (300 kpsi) (25°) |
| 硬度 |
莫氏硬度为9 （介于20°和25°C之间） 1900 努氏硬度平行于C轴 |
光学
| 属性 | 值 |
|---|---|
| 传动 | 紫外到中波红外（~200-5000nm） |
| 单轴负折射率 | 普通光线（C轴） No = 1.768 超常光线 Ne-1.760 双折射： 0.008 |
| 折射率的温度系数 | 13 X 10-6/°C（可见光范围） |
| 频谱发射 | 0.1 (1600°C) |
| 频谱吸收 | 0.1 – 0.2cm-1 (0.66 μm, 1600°C) |
热电
| 属性 | 值 |
|---|---|
| 熔点： | 2053°C (3727°F) |
| 比热 | 0.181 cal/gm°K (25°C) 0.300 cal/gm°K (1000°C) |
| 热导率 | 0.4 watts/cm°K (25°C) 0.1 watts/cm°K (1000°C) |
| 热膨胀系数 | (25 – 1000°C) 8.8 x 10-6; 平行于C轴 7.9 x 10-6; 垂直于C轴 |